ATE（Automated Test Equipment，自動測試設備） 是半導體測試流程裡真正負責送訊號、量測反應、跑測試程式與判斷 pass / fail 的測試主機。簡單講，Probe Card、Load Board、Test Socket 都比較像介面；ATE 才是做量測與判讀的「機器本體」。
Macquarie 的測試產業報告把 testing chain 拆成 probe card / load board → socket / burn-in socket → tester → prober 等層級，等於很清楚地提醒：不要把介面零件、handler / insertion 設備與 tester 本體混為一談。〔S1〕
在鏈條裡的位置
- Probe card / socket：接觸介面
- Load board：訊號轉接板卡
- ATE / tester：送訊號、收數據、跑測項
- Handler / insertion：把晶片自動送進測試位置
- OSAT：整合這些設備與產能，提供測試服務
投資上怎麼看
測試設備鏈通常吃：
- 新世代晶片測項變複雜
- 測試時間拉長
- 良率 / reliability 要求上升
- 封裝形式改變，需要新平台驗證
所以 AI 時代不是只有耗材受惠，tester / handler / insertion 也會一起升級。
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引用索引
- S1: [MM document:2367 chunk:53249 title:MQ｜Semiconductor Testing｜20260514]
最後更新
2026-05-17